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标准号:GB/T 33826-2017
中文标准名称:玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法
英文标准名称:Measurement of nanofilm thickness on glass substrate—Profilometric method
标准状态:现行
中国标准分类号(CCS)
Q34
国际标准分类号(ICS)
71.040.99
发布日期
2017-05-31
实施日期
2017-12-01
主管部门
中国科学院
归口单位
全国纳米技术标准化技术委员会
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
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