标准号：GB/T 31227-2014现行
中文名称：原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
英文名称：Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
发布日期：2014-09-30 实施日期：2015-04-15 作废日期： - -
中标分类：【J04】 基础标准与通用方法
ICS分类：【17.040.20】 表面特征
范围：本标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法。本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100 nm的薄膜。其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。
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