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GB/T 31227-2014原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

标准号:GB/T 31227-2014现行

中文名称:原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

英文名称:Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films

发布日期:2014-09-30      实施日期:2015-04-15      作废日期: - -

中标分类:【J04】 基础标准与通用方法

ICS分类:【17.040.20】 表面特征

范围:本标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法。本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100 nm的薄膜。其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。

 

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TAGS: GB T
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